光刻机项目已具备招标条件。资金来源自筹资金。
中科信工程咨询(北京)有限责任公司(招标代理机构)受
(略)
(招标人)的委托,
对
该
项目进行国际公开招标采购。
1. 招标范围
1.1 货物名称:光刻机
1.2
招标编号:
(略)础010
1.3 设备概况及技术性能:
1.3.1
设备概况
光刻机
主要用于
光电子、
微电子
、
惭贰惭厂微纳图形
加工工艺中高精度的
紫外
曝光与套刻
对准
,支持
各类
正胶、负胶
工艺
。包括主机、曝光系统、显微对准系统、计算机图像系统、
键合对准系统、匀胶显影系统、
掩模版夹具、对准台、
热板、晶圆
夹具等
。
1
.3.2
技术性能
1
.3.2.1
曝光系统
:
(
1)曝光灯:
LED
曝光灯,可通过软件连续调节和设定光强;使用寿命大于
5000小时;无需气体冷却;
(
2)正面套刻精度:
≤
±
0.25
m
m
;
(
3)
光强均匀度:
≤
±2
.5%。
1
.3.2.2
芯片找平系统
(
1)
采用独立式叁轴芯片找平系统,叁轴式找平装置呈
1
20
°分布在对准台上,通过对准台的上下运动和精准控制压力来实现晶圆—掩膜版之间的找平;
(
2)找平过程中,掩膜版位置固定不动,晶圆夹具承载晶圆垂直升降,实现找平;找平系统压力连续可调。
1.4 数量:
1套
。
1.5 交货期:合同签订后
9
个月内交货。
1.6 项目现场:
(略)
。
2. 对投标人的资格要求
2.1 投标人
具有独立法人资格
,
提供有效的营业登记等许可经营的证明文件
。
2.
2
本次招标接受代理商投标,代理商必须获得制造商的合法授权,提供授权书。
2.3
本
次招标
不接受联合体投标。
2.4投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格;接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。
3. 招标文件获取
3.1
凡有意参加投标者,请于
2022年
5
月
7
日至
202
2
年
5月
13
日
17时
(
北京时间
)
,将招标文件购买费用支付至中科信工程咨询(北京)有限责任公司((略)
(略)047830
)后(略)
http://www.eavic.com
)上传汇款底单和下载招标文件
,
现场不予受理。如有疑问,请致电航空工业电子采购平台服务热线
400-890-0880
。
3.2 招标文件售价
800(略),售后不退。
3.3 投标人必须在航空工业电子采购平台电子招投标专区注册,办理
CA
数字证书与电子签章,否则无法投标。(详见航空工业电子采购平台电子招投标专区相关说明)。
4. 投标文件的递交
4
.1投标文件递交的截止时间(投标截止时间,下同)为
202
2
年
5
月
30
日
09时
30
分,
投标人必须在此时间前将加密的电子版投标文件传至航空工业电子采购平台电子招投标专区(
丑迟迟辫://飞飞飞.别补惫颈肠.肠辞尘/谤别蝉迟/颈苍诲别虫)
并在此时间前现场递交单独密封的纸质版投标文件。
4.2 纸质版投标文件递交
地点为
北京(略)
8
8
号大楼一层会议室
。逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件,招标人将予以拒收。
5
发布公告的媒介
本次精品熟人妻一区二区三区四区不卡同时在
航空工业电子采购平台电子招投标专区、
中招联合招标采购平台、中国国际和
中国招标投标公共服务平台
上发布
。
6.联系方式
招标人名称:(略)
地址:
北京(略)
(略)
王赛
(略)
(略)
招标代理机构名称:中科信工程咨询(北京)有限责任公司
地址:北京(略)
88号
大楼六层
售卖
(略)
:刘女士
(略)
(略)
传真:
(略)
(略)
zhongkexin
(略)
202
2
年
5
月
7日