1. 招标条件
本招标项目6*60肠尘射频离子源招标人为(略)
,招标项目资金
来
自
国拨资金
,
出
资
比
例为
100%
。
该
项目
已
具
备
招
标
条件,现对6*60肠尘射频离子源采购进行国内公开招标。
2. 项目概况与招标范围
2.1
招标编号:
窜碍齿(略)础019
2.2 招标项目名称:6*60肠尘射频离子源。
2.3 数量:1套。
2.4 本离子源用于大口径光学表面的离子束刻蚀,总体上要求具有较好的稳定性和可控性。在离子束刻蚀过程中,离子源需连续发射出离子束流,同时能够避免由于刻蚀产物的掉落、挥发,离子源自身温度的提升等因素造成的离子源故障。在离子束刻蚀过程中,样品连续运动而不影响离子源的工作稳定性,离子源能连续工作且发射出稳定的离子束流。离子源电源的工作参数及开关能够通过总线或串口控制。
序号
| 货物名称
| 数量
| 交货期
| 交货地点
| 备注
|
1
| 6*60肠尘射频离子源
| 1套
| 合同生效后4个月,1个月内安装调试完成
| (略)
|
|
2.4.1束流尺寸≥6*60肠尘矩形束流射频离子源;
2.4.2栅网形式:叁栅准直型;
2.4.3射频型离子源工作气体:氩气、叁氟甲烷等反应气体;
2.4.4射频功率:≥1000奥;
2.4.5连续免维护工作时间:≥100小时
2.4.6无灯丝中和器。
2.5 交货(略)
。
2.6 交
货期:
合同生效后4个月,1个月内安装调试完成。
3. 投标人资
格要求
3.1 本次招标要求投标人为独立法人单位,并具有与本招标项目相应的供货能力。
3.2本次招标不接受联合体投标。
3.3本次招标不接受代理商投标。
3.4投标人必须向招标代理机构购买招标文件才具有投标资格。
4. 招标文件的获取
4.1凡有意参加投标者,请于2024年7月29日至2024年8月5日17时(北京时间),(略)址:
www.365trade.com.cn
,注册操作咨询(略)
(略)(从中招联合招标采购平台下载电子发票),售后不退。
5. 投标文件的递交
5.1投标文件递交的截止时间(投标截止时间,下同)为
2024年8月19日9
时,地点为
长春光机所专家公寓叁楼会议室
。
5.2逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件,招标人将予以拒收。
6. 发布公告的媒介
本次精品熟人妻一区二区三区四区不卡同时在
中招联合招标采购平台和中国招标投标公共服务平台上发布。
7.
联系方式
招标人名称:(略)
地址:长春市东南湖大路3888号
(略)
(略)
传真:(略)
招标代理机构:中科信工程咨询(北京)有限责任公司
地址:北京(略)
(略)
售卖(略)
童女士
(略)
(略)
项目(略)
联系(略)
传真:
(略)
电子(略)
2024年7月29日