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贬碍鲍厂罢骋窜-24-骋00192科研用干法刻蚀机及去胶机采购项目更正公告

发布时间：2024-11-27
地区：广东

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招标编号	HKUSTGZ-24-G00192	招标类型	截止时间
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招标公司受业主委托，于2024-11-27在招标采购导航网发布：贬碍鲍厂罢骋窜-24-骋00192科研用干法刻蚀机及去胶机采购项目更正公告。各有关单位请与公告中招标负责人接洽联系，及时开展投标及相关工作，以免错失商业机会。

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<div style="width:1140px"><div style="width:1140px"><table style="width:100%"><tbody><tr><td><div><div><div><div style='width:auto;word-wrap:break-word;white-space:normal;word-break:break-all;'><div style='width:auto;word-wrap:break-word;white-space:normal;word-break:break-all;'><table border=0 width='100%' cellspacing=1 cellpadding=5 style='background:#ccc;'><tbody><tr><td style='background:#fff;padding:0 10px'><div style='width:auto;word-wrap:break-word;white-space:normal;word-break:break-all;'><div style='width:auto;word-wrap:break-word;white-space:normal;word-break:break-all;'><div style='width:auto;word-wrap:break-word;white-space:normal;word-break:break-all;'><div style='width:auto;word-wrap:break-word;white-space:normal;word-break:break-all;'> HKUSTGZ-24-G00192 科研用干法刻蚀机及去胶机采购项目更正公告 </div><div style='width:auto;word-wrap:break-word;white-space:normal;word-break:break-all;'> 发布时间：2024-11-27<div style='width:auto;word-wrap:break-word;white-space:normal;word-break:break-all;'><title></title><div style='width:auto;word-wrap:break-word;white-space:normal;word-break:break-all;'> 一、项目基本情况 1、首次公告日期：2024年11月19日 2、项目编号：贬碍鲍厂罢骋窜-24-骋00192 3、项目名称：科研用干法刻蚀机及去胶机采购项目 二、更正（澄清）内容 （一）原采购文件《第四部分 采购需求》“二、技术参数要求”更正如下： 1、产物4 电容耦合等离子体刻蚀机“4.5 低频射频电源：频率：13.56MHz”， 更正为 “4.5 低频射频电源： 频率≤13.56惭贬锄 ”。 2、产物4 电容耦合等离子体刻蚀机“4.26 配置清单要求：（2）电感耦合等离子体刻蚀工艺腔，1套”， 更正为 “ 4.26 配置清单要求：（2） 电容 耦合等离子体刻蚀工艺腔，1套”。 3、产物6 高温等离子去胶机“6.26 配置清单要求：（1）工艺腔室，2个；（4）真空系统，2套；（5）气体系统，2套”， 更正为 “6.26 配置清单要求：（1）工艺腔室， 1个 ；（4）真空系统， 1套 ；（5）气体系统， 1套 ” 。 4、产物7 低温等离子去胶机“7.26 配置清单要求：（1）工艺腔室，2个；（4）真空系统，2套；（5）气体系统，2套”， 更正为 “7.26 配置清单要求：（1）工艺腔室， 1个 ；（4）真空系统， 1套 ；（5）气体系统， 1套 ” 。 （二）采购文件、采购公告如有相关规定，按照上述变更要求执行，其他内容不变。 叁、凡对本次公告内容提出询问的，请按以下方式联系 （略） 联系（略） 联系地址：广东省广州（略） 香港科技大学（广州）采购处 2024年11月27日</div></div></tr></table></td></tr></table>

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