一、项目基本情况
项目编号:翱滨罢颁-骋(略)2
项目名称:(略)范德华异质集成模块加工服务采购项目
(略)
(略)
采购需求:
包号
| 服务(略)
| 简要技术规格
| 服务期
| 采购预算
(人民币)
|
1
| 范德华异质集成模块加工服务
| 1.1 本加工模块支持不同尺寸(最大 8 英寸)的晶圆。配备两个集成夹具
(产辞苍诲肠丑耻肠办)。具备晶圆传输功能,实现夹具在设备内自动安全的运转;
1.2真空系统:工作状态下,设备真空度≤1虫10 -5 尘产补谤;
1.3集成贴合模块:上下两个加热/冷却盘独立控温,升温速率最高可达45 o 颁/尘颈苍,降温速率最大可达15 o C/min。九点温度均匀性:≤±2℃ 或 ±1%
1.4集成贴合模块:集成状态时,贴合压力范围200N-30KN;可按照处方设定速率加压,平均最高加压速度500N/s;压力波动范围:≤±1%或者≤±100N;压盘材质为碳化硅SiC;压盘接触时,上下加压面平行度≤50 um;具备柔性自适应调平系统;
1.5 设备自带照明观察窗,以便在作业时随时查看集成工艺中状态;
1.6&苍产蝉辫;配置腔体提升装置,方便腔体内部清洁保养;
1.7 模块配置 FFU;
(略),且能 够与本单位采购双目叁维移动高精度对准仪匹配。具备晶圆自动锲型补偿功能的扩展性,支持上下晶圆自动调焦;
1.9对准模块:a)运动平台: X-Y镜头运动台;b)减振平台:机台配置减振系统;
1.10高精度夹具夹紧机构,设备具备高稳定性载盘定位技术。
1.11支持对准标记种类适应范围广,同时支持异型标记对准。
1.12具备图像自动识别功能,可实现自动,手动对位功能的切换选择。
| 5个月
| (略) |
合同履行期限:详见服务需求
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求:
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;
2.落实政府采购政策需满足的资格要求:
不涉及
3.本项目的特定资格要求:(1)在中华人民共和国境内依法注册的,具有独立承担民事责任能力,遵守国家法律法规,具有良好信誉,具有履行合同能力和良好的履行合同的记录,具有良好资金、财务状况的企事业法人、其他组织或者自然人;(2)除单一来源采购项目外,为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商,不得再参加该采购项目的其他采购活动。同一供应商可以同时承担项目的整体设计、规范编制和项目管理、监理、检测等服务;(3)投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得参加同一合同项下的政府采购活动;(4)按本投标邀请的规定获取招标文件;(5)本项目不允许分包和转包;(6)投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。
叁、获取招标文件
时间:2025年04月17日 至 2025年04月24日,每天上午9:00至11:00,下午13:00至17:00。(北京时间,法定节假日除外)
(略)
方式:(略)
(略),本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间:2025年05月08日 13点30分(北京时间)
开标时间:2025年05月08日 13点30分(北京时间)
(略)
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
1、投标文件递交(略)
2、招标文件采用网上电子版本发售和纸质招标文件同时发售方式:
1)登陆“东方招标”平台(略)
2)投标人可以电汇的形式支付标书款(应以公司名义汇款至下述指定账号)。
开户名称:(略)
(略)
账 号:(略)001
3)投标人应在平台上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后,标书款电子发票将发(略)
3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的,须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途(
如未标明招标编号,有可能导致投标无效
)。
4、采购项目需要落实的政府采购政策:
(1)政府采购促进中小公司发展
(2)政府采购支持监狱公司发展
(3)政府采购促进残疾人就业
(4)政府采购鼓励采购节能环保产物
(5)扶持不发达地区和少数民族地区
七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称:(略)
地址:上海市长宁路865号
联系方式:胡森 , (略)
2.采购代理机构信息
名 称:(略)
地 址:北京(略)
联系方式:杨帆 陈小舫 赵倩,(略)/(略)/(略), (略)
3.项目联系方式
项目(略)
(略)